領航 作品

第181章 安裝設備(上)

 “吊車已經在路上了,過幾分鐘就能到。”

 眾人站在無塵車間外等了幾分鐘,兩輛20噸級吊車就趕到了瑞達電子廠,而後以吊裝的方式,將集裝箱貨車上的光刻機和刻蝕機,分別送入四個無塵車間。接下來就是漫長的設備安裝和調試,光刻機和刻蝕機,是這個世界上最精密的設備之二,可以在晶圓上完成納米級別的精加工,如此高端的設備,對安裝環境的要求也是非常的苛刻,平整度、溫度、安裝精度缺一不可。瑞達電子廠斥巨資打造這四個電子級無塵車間,主要就是為了這兩種設備服務。

 王成業院士捧著一本足有磚頭厚的英文原版安裝說明書,一邊翻看,一邊感嘆道:“嘖嘖嘖,不愧是當前世界最先進的duv光刻機,只是安裝說明書,就有上千頁,看著就讓人頭大。”

 林夢松也跟著附和道:“誰說不是呢,越高端的設備越是嬌貴,就拿這臺光刻機來說,安裝的環境溫度高了不行,溼度大了不行,灰塵多了也不行,噪音稍稍大一些,成品率都會受到影響。”

 “要說還是咱們喬同學神通廣大,最阿斯麥先進的duv光刻機都能搞的來,有了它,衝擊28nm製程一點難度都沒有。”周萬達看著面前這幾臺設備,口水都要流下來了。要是他所在的北大集成電路實驗室有兩臺如此先進的光刻機,怕是28nm製程早就攻克了。

 林夢松撫摸著一臺光刻機的外殼,說道:“小了,你的野心也太小了,28nm算什麼,有了這些最先進的duv光刻機和刻蝕機,通過套刻,多次曝光等工藝,實現7nm芯片的製造都是可能的,只是成品率可能沒那麼高。”

 “我去,真的假的,如果真的實現了7nm工藝,那豈不是領先主流芯片加工技術三個節點,林博士,你不會是在吹牛吧?”

 “我也覺得不可能,如果這套設備真的能實現7nm工藝製程,那摩爾定律豈不是要失效了。”