Chapter032 光刻機：至極變態的條件

 送走李強，布一楠開始查看最近的各項工程進度。

 水廠建好後，就要開始修建超純水系統來觀測超新星爆炸，將確實的證據擺在人類面前。

 之前布一楠思考很久，還是決定要修建這個，因為這系統還有另外一個作用就是為未來研究中微子核裂變，是研究能源矩陣的基礎研究。

 翻看資料，反滲透膜的技術已經被基地中一名材料學專家轉化為了工業技術，可實現量產了。

 就是儀器設備這塊還需要在打磨一下。

 布一楠看了設計圖之後又將這份設計做了些許修改和調整。

 現在國家可真的沒有太多錢了，自己的任何一項研究都需要海量資金。

 雖然鄧玉峰從來沒說，不過她又不是傻的。

 外附機械骨骼這件事就能看出來，國家在努力掙錢呢。

 要不要再丟出一點東西，換錢？

 懸浮車？

 虛擬遊戲？

 磁懸浮技術拿出來了，估計產能夠嗆。

 虛擬遊戲需要腦機技術，超級芯片製造出來之後才能實現。

 這麻爪了。

 布一楠暗嘲自己就不是個能發大財的人，手裡一堆王炸居然找不出一個能掙錢的東西。

 算了，還是讓別人操心去吧。

 她只管把技術拿出來就行。

 還是先搞完自己的芯片大業吧，這玩意一出，無人能敵。

 之前說完了龜腚……硅錠到硅片的過程。

 接下來就是將硅片光刻製成晶圓，這裡就是整個芯片製造的另一個難點。

 光刻就需要光刻機。

 之前提到（第十章）euv極紫光源的存在。

 根據瑞利定理，要製造納米級芯片，光刻的光波就要更短更小。

 euv是人類現階段能實現的最短光13.5納米。

 這個光是利用40千瓦激光驅動深紫外線光（duv）發出的193納米光打擊液態金屬錫來實現。

 為了得到波長更短，強度足夠的光，需用光脈衝擊打液態金屬錫（20微米，從高空掉落的運動體）高頻重複五萬次每秒。

 利用金屬吸收反射的原理將光波變得更短，但是這種光的波長是短了，強度又不夠，怎麼辦？